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内容简介：
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
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书籍介绍
《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。
网站评分
书籍多样性：3分
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书籍清晰度：3分
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还行吧。
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请问，能在线转换格式吗？
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非常好就是加载有点儿慢。
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- 网友 龚***湄：
差评，居然要收费！！！
- 网友 邱***洋：
不错，支持的格式很多
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书籍真实打分
故事情节：3分
人物塑造：4分
主题深度：6分
文字风格：5分
语言运用：5分
文笔流畅：3分
思想传递：7分
知识深度：6分
知识广度：7分
实用性：7分
章节划分：5分
结构布局：4分
新颖与独特：3分
情感共鸣：7分
引人入胜：3分
现实相关：3分
沉浸感：3分
事实准确性：7分
文化贡献：4分