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内容简介：
本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。
本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员，科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。
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书籍介绍
本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。
本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员，科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。
网站评分
书籍多样性：3分
书籍信息完全性：5分
网站更新速度：5分
使用便利性：7分
书籍清晰度：8分
书籍格式兼容性：3分
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稳定性：6分
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下载评价
- 网友 游***钰：
用了才知道好用，推荐！太好用了
- 网友 温***欣：
可以可以可以
- 网友 索***宸：
书的质量很好。资源多
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我说完了。
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- 网友 孙***夏：
中评，比上不足比下有余
- 网友 蓬***之：
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- 网友 仰***兰：
喜欢！很棒！！超级推荐！
- 网友 田***珊：
可以就是有些书搜不到
- 网友 师***怡：
说的好不如用的好，真心很好。越来越完美
- 网友 辛***玮：
页面不错 整体风格喜欢
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书籍真实打分
故事情节：9分
人物塑造：4分
主题深度：4分
文字风格：8分
语言运用：4分
文笔流畅：6分
思想传递：9分
知识深度：4分
知识广度：8分
实用性：8分
章节划分：8分
结构布局：6分
新颖与独特：5分
情感共鸣：6分
引人入胜：8分
现实相关：5分
沉浸感：9分
事实准确性：6分
文化贡献：5分